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気圧の影響 周囲環境の大気圧変化によって光速度は0.3ppm/hPaだけ影響を受けます。タイム・オブ・フライト方式のレーザ距離センサは光速度にその伝播時間を積算する事により距離を算出するため、測定値は同率に変動をうけます(hPaヘクトパスカルは8mの高度差により起こる気圧変化で、基本単位はmb(ミリバール)と同じです。ppmは100万分の1単位、したがって実距離が変化しない場合、周囲の気圧が1hPa変化すると測定値はその時点での距離測定値の100万分の0.3だけ変化します)。超音波センサでも同様で気圧の影響を受け、レーザ距離センサより受ける影響は大きくなります。
気温の影響 周囲環境の温度変化によって光速度は1ppm/Kだけ影響を受けます。タイム・オブ・フライト方式のレーザ距離センサは光速度にその伝播時間を積算する事により距離を算出するため、測定値は同率に変動をうけます(Kは絶対温度単位ケルビン、基本単位は℃と同じです。ppmは100万分の1単位、したがって実距離が変化しない場合、周囲の温度が1℃変化すると測定値はその時点での距離測定値の100万分の1だけ変化します)。超音波センサでも同様に気温の影響を受けますが、レーザ距離センサより受ける影響は大きくなります。
輝度 光源や二次光源(反射面や透過面)から観測者の方向へ向かって発する「光の強さ」を人間の目の感度(CIE標準分光視感度V[λ])で評価した測光量で、特定方向(観測方向)のみに着目しています。輝度の単位は、cd/m² [カンデラ 毎平方メートル]が使用されます。測定距離とは無関係です。
機能内切換 配線やスイッチで切り換えるのではなく、項目(パラメータ)を呼び出して設定を切り換える方法。主にディスプレイを搭載している機種に搭載されています。
逆接続保護 電源線の極性が誤って結線されても、内部保護回路によって破壊を防ぐとともに、誤った信号を発生する誤動作が起きない機能。
キャリブレーション(校正) キャリブレーションとは、指定された条件下にて測定値と正しい値(真値)とにどのくらいの誤差があるかを調べる作業のことです。誤差がスペックの範囲外の場合は、スペック内に入るように別途調整作業を行います。
また変位センサを測定対象に対して斜めに設置した場合、実際の距離よりも長い値を測定してしまいますが、実際の距離と測定値を合わせ込む設定もキャリブレーションと呼びます。
キューブビームスプリッタ ビームスプリッタとは入射光を特定の比率で2つの光に分割する光学部品です。キューブビームスプリッタは、直角のプリズムを二つ合わせて立方体としたものです。当社の同軸照明で使用しているキューブビームスプリッタは、光を1:1に分割しています。
狭視界 先端にレンズを内蔵し、開口角を2~5°と狭めたファイバユニットです。長距離検出が可能な上、光軸のそばに反射率の高い物体があっても光が回り込んで誤動作することがないので、ウェハマッピングに最適です。
距離設定型(BGS型) 受光素子にPSDやC-MOS、2-PDを使用した三角測距の原理で動作する光電センサ。拡散反射型に比べ、検出物体の色や材質、また背景の影響に強いのが特長です。
(BGS: Background Suppression)
距離センサ センサ内部の光源(LEDやレーザダイオード)から照射された光が、測定対象物にあたると反射され、センサの受光素子で受光されます。その反射された光を評価・演算し、距離に換算して出力するセンサが距離センサです。
近接センサ 検出面に接近する、または近くにある物体の有無を非接触で検出するセンサです。電磁誘導作用による渦電流の変化により動作するので、検出物体は金属に限定されます。また鉄等の磁性金属に対しては検出距離が長く、銅やアルミニウム等の非磁性金属に対しては検出距離が短くなります。光電センサに比べ検出距離は極端に短くなりますが、光を使わないので汚れに強く、構造もシンプルなので安価で導入できるのが特長です。