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高さ・厚みの測定、反りや歪み・振れの測定、ある位置から他の位置へ移動した際の変位量の測定、幅・蛇行制御、段差判別など。レーザ光にて非接触で安定測定する変位センサ(変位計)。
ローコストからハイエンドまで、繰返精度に応じたバリエーション。測定対象物を選ばず汎用性の高い光学式(レーザ)の変位センサです。
\ | CDXシリーズ | CD2Hシリーズ | CD22シリーズ | CD5シリーズ | CD33シリーズ |
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投光光源 | クラス1レーザ | クラス1レーザ (CD2H-30、50) クラス2レーザ (CD2H-245、350、700) |
クラス1レーザ (CD22-15、CD22-35) クラス2レーザ (CD22-100) |
クラス2レーザ (CD5-Lはクラス1/ CD5-W2000は クラス3R) |
クラス2レーザ |
受光素子 | C-MOSリニア イメージセンサ |
C-MOSリニア イメージセンサ |
C-MOSリニア イメージセンサ |
C-MOSリニア イメージセンサ |
C-MOSリニア イメージセンサ |
構造 | アンプ内蔵 | アンプ内蔵 | アンプ内蔵 | アンプ内蔵 | アンプ内蔵 |
繰返精度 | 0.1μm~ | 0.1μm~ | 1μm~ | 0.2μm~ | 2μm~ |
リニアリティ | ±0.015%~±0.03% of F.S. (型式による) |
±0.1%~±0.3% of F.S. (型式による) |
±0.1% of F.S. | ±0.05%~±0.1% of F.S. (型式による) |
±0.1%~±0.3% of F.S. (型式による) |
サンプリング周期 | 12.5μs~1ms、 Auto(8段切換) |
133.3〜5000μs、 Auto(9段切替) |
500〜4000μs、 Auto(5段切換) |
100〜3200μs (6段切換) |
500[750]〜2000μs (4段切換) [ ]はCD33-250 |
標準価格(税別) | 385,000円 | 107,800円 | 65,780円 | 275,000円 ※ | 107,800円 |