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種 類 | 測定範囲 | 繰返精度 | リニアリティ | 光源 (JISレーザ クラス) |
型 式 | 標準価格 (税別) |
|
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透明体・ 鏡面体 測定 |
スポット | 0.02μm | ±0.08% F.S. |
赤色 半導体 レーザ (クラス1) |
CD5-L25 | 275,000円 | |
ワイド | CD5-LW25 | ||||||
ショート レンジ |
スポット | モード 0.2μm 正反射 モード 0.1μm |
±0.08% F.S. |
赤色 半導体 レーザ (クラス2) |
CD5-30 | 275,000円 | |
ワイド | CD5-W30 | ||||||
ミドル レンジ |
スポット | モード 1μm 正反射 モード 0.5μm |
モード ±0.05% F.S. 正反射 モード ±0.08% F.S. |
赤色 半導体 レーザ (クラス2) |
CD5-85 | 275,000円 | |
ワイド | CD5-W85 | ||||||
セミ ロング レンジ |
スポット | 2μm | ±0.05% F.S. |
赤色 半導体 レーザ (クラス2) |
CD5-150 | 275,000円 | |
ワイド | CD5-W150 | ||||||
ロング レンジ |
ワイド | 5μm | ±0.08% F.S. |
赤色 半導体 レーザ (クラス2) |
CD5-W350 | 275,000円 | |
スーパー ロング レンジ |
ワイド | 10μm | ±0.08% F.S. |
赤色 半導体 レーザ (クラス2) |
CD5-W500 | 275,000円 | |
ウルトラ ロング レンジ |
ワイド | 30μm | ±0.1% F.S. |
赤色 半導体 レーザ (クラス 3R) |
CD5-W2000 | 297,000円 |
種 類 | 特 長 | センサヘッド 接続台数 |
インター フェース |
入出力 | 型 式 | 標準価格 (税別) |
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CD5用 アンプ ユニット |
4.3インチTFT 液晶モニタ + テンキー |
max.3台 | アナログ出力 各種入出力 RS-232C USB |
NPN | CD5A-N | 132,000円 | |
PNP | CD5A-P |
種 類 | 特 長 | センサ ヘッド 接続台数 |
型 式 | 標準価格 (税別) |
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変位センサ コントロール ユニット |
MELSEC-QシリーズにCD5を直接接続するためのコントロールユニット ※センサヘッドとの接続はDOL-1212-G□□Mをご使用ください。 |
max. 2ヘッド |
UQ1-01 | 43,780円 |
注意
CD5シリーズのセンサヘッドは、"輸出貿易管理令 別表第1 2-(12)"直線上の変位を測定する測定装置用に該当しております。
下表の製品は、分解能(繰返精度)の規制値"0.2μm以下"に非該当になるように分解能を制限しているものです。
詳細については、当社までお問合せください。
低分解能(低繰返精度)版
型 式 | 測定モード | 分解能 |
CD5-L25A | - | 0.37μm |
CD5-LW25A | ||
CD5-30A | 拡散モード | 0.46μm |
正反射モード | 0.23μm | |
CD5-W30A | 拡散モード | 0.46μm |
正反射モード | 0.23μm |
その他
アンプユニットには該非の区別はなく、低分解能(低繰返精度)版のセンサヘッドを接続したアンプからの出力は、平均回数を上げても分解能(繰返精度)は左表のとおりに制限されます。
センサヘッド:型式別仕様
型 式 | CD5-L25 | CD5-LW25 | CD5-30 | CD5-W30 | ||||||||||
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光学方式/モード | 正反射式 | 拡散反射 モード |
正反射モード | 拡散反射 モード |
正反射モード | |||||||||
測定中心距離 | 25mm | 30mm | 26.1mm | 30mm | 26.1mm | |||||||||
測定範囲 | ±1mm | ±5mm | ±2.5mm | ±5mm | ±2.5mm | |||||||||
光源 | 媒質 | 赤色半導体レーザ | ||||||||||||
波長 | 650nm | 658nm | ||||||||||||
最大出力 | 390μW | 1mW | ||||||||||||
レーザ クラス |
IEC/JIS | CLASS1 | CLASS 2 | |||||||||||
FDA | CLASSⅡ | |||||||||||||
スポットサイズ※1 | 約25×35μm | 約100×700μm | 約30×100μm | 約260×1000μm | ||||||||||
リニアリティ※2 | ±0.08%F.S. (F.S.=2mm) |
±0.08%F.S. (F.S.=10mm) |
±0.08%F.S. (F.S.=5mm) |
±0.08%F.S. (F.S.=10mm) |
±0.08%F.S. (F.S.=5mm) |
|||||||||
繰返精度※2 | 0.02μm | 0.2μm | 0.1μm | 0.2μm | 0.1μm | |||||||||
サンプリング周期※3 | 100μs / 200μs / 400μs / 800μs / 1600μs / 3200μs / AUTO | |||||||||||||
温度特性※4 | ±0.01%F.S./℃ (F.S.=2mm) |
±0.05%F.S./℃ (F.S.=2mm) |
±0.01%F.S./℃ (F.S.=10mm) |
±0.01%F.S./℃ (F.S.=5mm) |
±0.01%F.S./℃ (F.S.=10mm) |
±0.01%F.S./℃ (F.S.=5mm) |
||||||||
質量 | 約250g(500mm長コネクタケーブルを含む) |
型 式 | CD5-85 | CD5-W85 | CD5-150 | CD5-W150 | |||
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光学方式/モード | 拡散反射 モード |
正反射 モード |
拡散反射 モード |
正反射 モード |
拡散反射式 | ||
測定中心距離 | 85mm | 82.3mm | 85mm | 82.3mm | 150mm | ||
測定範囲 | ±20mm | ±10mm | ±20mm | ±10mm | ±40mm | ||
光源 | 媒質 | 赤色半導体レーザ | |||||
波長 | 650nm | 658nm | 650nm | 658nm | |||
最大出力 | 1mW | ||||||
レーザ クラス |
IEC/JIS | CLASS 2 | |||||
FDA | CLASSⅡ | ||||||
スポットサイズ※1 | 約70×290μm | 約260×1200μm | |||||
リニアリティ※2 | ±0.05%F.S. (F.S.=40mm) |
±0.08%F.S. (F.S.=20mm) |
±0.05%F.S. (F.S.=40mm) |
±0.08%F.S. (F.S.=20mm) |
±0.05%F.S. (F.S.=80mm) |
||
繰返精度※2 | 1μm | 0.5μm | 1μm | 0.5μm | 2μm | ||
サンプリング周期※3 | 100μs / 200μs / 400μs / 800μs / 1600μs / 3200μs / AUTO | ||||||
温度特性※4 | ±0.01%F.S./℃ (F.S.=40mm) |
±0.01%F.S./℃ (F.S.=20mm) |
±0.01%F.S./℃ (F.S.=40mm) |
±0.01%F.S./℃ (F.S.=20mm) |
±0.01%F.S./℃ (F.S.=80mm) |
||
質量 | 約250g(500mm長コネクタケーブルを含む) |
型 式 | CD5-W350 | CD5-W500 | CD5-W2000 | |
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光学方式/モード | 拡散反射式 | |||
測定中心距離 | 350mm | 500mm | 2000mm | |
測定範囲 | ±100mm | ±200mm | ±500mm | |
光源 | 媒質 | 赤色半導体レーザ | ||
波長 | 658nm | |||
最大出力 | 1mW | 5mW | ||
レーザ クラス |
IEC/JIS | CLASS 2 | CLASS 3R | |
FDA | CLASSⅡ | CLASSⅢa | ||
スポットサイズ※1 | 約700×2400μm | 約1000×3700μm | 約2100×7800μm | |
リニアリティ※2 | ±0.08%F.S. (F.S.=200mm) |
±0.08%F.S. (F.S.=400mm) |
±0.1%F.S. (F.S.=1000mm) |
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繰返精度※2 | 5μm | 10μm | 30μm | |
サンプリング周期※3 | 100μs / 200μs / 400μs / 800μs / 1600μs / 3200μs / AUTO | |||
温度特性※4 | ±0.01%F.S./℃ (F.S.=200mm) |
±0.01%F.S./℃ (F.S.=400mm) |
±0.05%F.S./℃ (F.S.=1000mm) |
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質量 | 約250g (500mm長コネクタケーブルを含む) |
約450g (500mm長コネクタ ケーブルを含む) |
<測定条件>
指定のない測定条件は、専用アンプユニットに接続し、周囲温度23℃(常温)、電源電圧DC24V、サンプリング周期100μs(CD5-W350/-W500/-W2000の3機種は800μs)、平均回数256回、測定中心距離、標準測定対象物(正反射式・正反射モード:アルミ蒸着ミラー、拡散反射式・拡散反射モード:白セラミック)、デジタル測定値とします。
※1.測定中心距離にて中心強度の1/e2(13.5%)で定義しています。規定のスポットサイズ以外にも漏れ光があり、検出距離付近の周囲に反射率の高いものがある場合は、その影響を受けることがあります。
※2.平均回数4096回での代表例です。他の条件は、上記の<測定条件>と同様です。
※3.CD5-L(W)25/-(W)30/-(W)85/-(W)150の出荷時設定は100μs、CD5-W350/-W500/-W2000の出荷時設定は800μsとなります。
※4.上記の<測定条件>の代表例です。
センサヘッド:共通仕様
電源電圧 | DC12~24V ±10% もしくは専用アンプユニットCD5A-□より供給 | |||||||
消費電流 | 45mA以下(DC24V時) | |||||||
通信機能※ | RS-422 9.6k~1843.2kbps | |||||||
表示灯 | レーザ放射表示灯:緑色(レーザ放射時点灯) 測定範囲表示灯 :橙色(測定中心付近で点灯) 赤色(測定範囲内の近距離側で点灯) 緑色(測定範囲内の遠距離側で点灯) 赤色/緑色交互点灯(測定範囲外もしくは測定不能時交互点灯) |
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接続形態 | コネクタ中継式 耐屈曲ケーブル(最小曲げ半径 固定時:ケーブル直径×4、可動時:ケーブル直径×8) |
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保護等級 | IP67(コネクタ部含む) | |||||||
使用周囲温度 | -10~+50℃(結露および氷結なきこと)/ 保管時:-20~+60℃ | |||||||
使用周囲湿度 | 35~85%RH / 保管時:35~85%RH | |||||||
使用周囲照度 | 3000LUX以下 (白熱ランプでの受光面照度) | |||||||
耐振動 | 10~55Hz 複振幅1.5mm X,Y,Z各方向 2時間 | |||||||
耐衝撃 | 約50G(500m/s²) X,Y,Z各方向 3回 | |||||||
適用法令 | EMC | EMC指令(2014/30/EU) | ||||||
環境 | RoHS指令(2011/65/EU)、中国RoHS(令第32号) | |||||||
安全 | FDA規則(21 CFR 1040.10) | |||||||
適用規格 | EN 60947-5-7 | |||||||
ウォームアップ時間 | 約30分 | |||||||
材質 | ケース:アルミダイカスト / 投受光部カバー:ガラス | |||||||
ケーブル延長 | 延長ケーブル(オプション)にて最長50mまで延長可能 |
※.専用アンプユニットを介さずセンサヘッド単体で使用する場合、電源投入時は常に9.6kbpsに設定されます。また、ヘッドのサンプリング周期と全測定データが抜けなしで転送可能なボーレートの関係は下記のとおりです。
100μs:921.6kbps、200μs:460.8kbps、400μs:230.4kbps、800μs:115.2kbps、1600μs:57.6kbps、3200μs:38.4kbps
アンプユニット
型 式 | CD5A-N | CD5A-P | |
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センサヘッド接続台数 | max.3台 | ||
電源電圧 | DC12~24V ±10% | ||
消費電流 | 350mA/24V(センサヘッド3台接続時、アナログ電流出力含む) | ||
温度特性 | ±0.01%F.S./℃ | ||
通信機能 | RS-232C/USB | ||
アナログ出力 | 電圧出力:±10V/F.S.(出力インピーダンス100Ω) 電流出力:4~20mA/F.S. (負荷インピーダンス300Ω以下) |
||
アラーム出力 | NPNオープンコレクタ | PNPオープンコレクタ | |
max.100mA/DC24V(残留電圧max.1.8V) センサヘッドが測定不能状態のときON | |||
制御出力 | NPNオープンコレクタ | PNPオープンコレクタ | |
max.100mA/DC24V(残留電圧max.1.8V) 各HI/LO設定可能、ヒステリシス設定可能 | |||
バンク入力 | GNDに接続でON | 12〜24Vに接続でON | |
16バンク切換 | |||
ホールド入力 | GNDに接続でON | 12〜24Vに接続でON | |
測定値ホールド(メニューにて設定) | |||
ゼロリセット入力 | GNDに接続でON | 12〜24Vに接続でON | |
センサヘッドA測定値 / センサヘッドB測定値 / センサヘッドC測定値 / 演算値のゼロリセットが可能 | |||
レーザ放射停止入力 | GNDに接続でON | 12〜24Vに接続でON | |
センサヘッドA / B / C のレーザの消灯が可能 | |||
液晶表示 | LCDディスプレイ | ||
保護等級 | IP20 | ||
使用周囲温度 | -10~+45℃(結露および氷結なきこと)/保存時:-20~+60℃ | ||
使用周囲湿度 | 35~85%RH/保存時:35~85%RH | ||
耐振動 | 10~55Hz 複振幅1.5mm X,Y,Z各方向 2時間 | ||
耐衝撃 | 約20G(196m/s²) X,Y,Z各方向 3回 | ||
適用法令 | EMC | EMC指令(2014/30/EU) | |
環境 | RoHS指令(2011/65/EU)、中国RoHS(令第32号) | ||
適用規格 | EN 60947-5-7 | ||
材質 | ケース:ポリカーボネイト 端子台:ナイロン66 | ||
質量 | 約550g(端子台含む) | ||
アンプユニット副機能 |
●センサヘッド設定
測定対象設定、キャリブレーション設定{シフト/スパン}、レーザパワー設定、感度設定、 受光波形しきい値設定、移動平均設定、通信速度設定、アラーム時測定値設定、受光波形モニタ、 相互干渉防止設定、センサヘッドセットアップ機能 ●制御出力設定 上下限値設定、応差設定、ディレイ設定、ディレイ時間設定、判定ソース設定 ●アナログ出力設定 上下限値設定、判定ソース設定 ●演算設定 演算式設定、測定値増減方向設定、K項設定、シフト設定 ●各種ホールド設定 ●フィルタ設定 フィルタ設定、カットオフ周波数設定 ●バンク設定 ●RS-232C設定 ●メモリコピー機能 ●測定値表示桁数設定 ●ディスプレイ輝度設定 ●キー照明設定 |
● 機種追加されたCD5-150/-W150は、CD5A-□のHardware Ver.1.7およびSoftware Ver.4.3以降で使用可能です。それ以前のCD5A-□をご使用の場合は、当社までお問い合わせください。
種類 | 赤色半導体レーザ |
波長 | 650nm/658nm |
出力 | 390μW/1mW/5mW |
1mW(CLASS2) |
段差や色の変化が大きいワーク
センサヘッドの検出面(投受光部面)と検出体が必ず平行になるように取り付けてくださ い。検出位置にスポットが合うように調整し、検出面の基準(変化の中心)で距離表示灯が オレンジ点灯することを確認してください。
回転しているワーク
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