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高性能マルチレーザ変位センサ
CD5シリーズ

高精度、安定性、操作性
そのすべてを高次元で融合

  • クラス最高水準の繰返精度・リニアリティ
  • 3ヘッドマルチ演算が可能
  • センサヘッド単体でも測定可能
  • 三菱電機PLC用コントロールユニットをラインナップ

種類・システム構成

センサヘッド
種 類 測定範囲 繰返精度 リニアリティ 光源
(JISレーザ
クラス)
型 式 標準価格
(税別)
透明体・
鏡面体
測定
スポット 0.02μm ±0.08%
F.S.
赤色
半導体
レーザ
(クラス1)
CD5-L25 250,000円
ワイド CD5-LW25
ショート
レンジ
スポット 拡散反射
モード
0.2μm

正反射
モード
0.1μm
±0.08%
F.S.
赤色
半導体
レーザ
(クラス2)
CD5-30 250,000円
ワイド CD5-W30
ミドル
レンジ
スポット 拡散反射
モード
1μm

正反射
モード
0.5μm
拡散反射
モード
±0.05%
F.S.

正反射
モード
±0.08%
F.S.
赤色
半導体
レーザ
(クラス2)
CD5-85 250,000円
ワイド CD5-W85
150_add
セミ
ロング
レンジ
スポット 2μm ±0.05%
F.S.
赤色
半導体
レーザ
(クラス2)
CD5-150 250,000円
ワイド CD5-W150
ロング
レンジ
ワイド 5μm ±0.08%
F.S.
赤色
半導体
レーザ
(クラス2)
CD5-W350 250,000円
スーパー
ロング
レンジ
ワイド 10μm ±0.08%
F.S.
赤色
半導体
レーザ
(クラス2)
CD5-W500 250,000円
ウルトラ
ロング
レンジ
ワイド 30μm ±0.1%
F.S.
赤色
半導体
レーザ
(クラス
3R)
CD5-W2000 270,000円
アンプユニット
種 類 特 長 センサヘッド
接続台数
インター
フェース
入出力 型 式 標準価格
(税別)
CD5用
アンプ
ユニット
4.3インチTFT
液晶モニタ
+
テンキー
max.3台 アナログ出力
各種入出力
RS-232C
USB
NPN CD5A-N 120,000円
PNP CD5A-P
変位センサコントロールユニット
種 類 特 長 センサ
ヘッド
接続台数
型 式 標準価格
(税別)
変位センサ
コントロール
ユニット
MELSEC-QシリーズにCD5を直接接続するためのコントロールユニット
※センサヘッドとの接続はDOL-1212-G□□Mをご使用ください。
max.
2ヘッド
UQ1-01 39,800円

システム構成例

CD5シリーズの輸出貿易管理令の該非について

注意
CD5シリーズのセンサヘッドは、"輸出貿易管理令 別表第1 2-(12)"直線上の変位を測定する測定装置用に該当しております。
下表の製品は、分解能(繰返精度)の規制値"0.2μm以下"に非該当になるように分解能を制限しているものです。
詳細については、当社までお問合せください。

低分解能(低繰返精度)版

型 式 測定モード 分解能
CD5-L25A - 0.37μm
CD5-LW25A
CD5-30A 拡散モード 0.46μm
正反射モード 0.23μm
CD5-W30A 拡散モード 0.46μm
正反射モード 0.23μm

その他
アンプユニットには該非の区別はなく、低分解能(低繰返精度)版のセンサヘッドを接続したアンプからの出力は、平均回数を上げても分解能(繰返精度)は左表のとおりに制限されます。



仕様

センサヘッド:型式別仕様

型 式 CD5-L25 CD5-LW25 CD5-30 CD5-W30
光学方式/モード 正反射式 拡散反射
モード
正反射モード 拡散反射
モード
正反射モード
測定中心距離 25mm 30mm 26.1mm 30mm 26.1mm
測定範囲 ±1mm ±5mm ±2.5mm ±5mm ±2.5mm
光源 媒質 赤色半導体レーザ
波長 650nm 658nm
最大出力 390μW 1mW
レーザ
クラス
IEC/JIS CLASS1 CLASS 2
FDA CLASSⅡ
スポットサイズ※1 約25×35μm 約100×700μm 約30×100μm 約260×1000μm
リニアリティ※2 ±0.08%F.S.
(F.S.=2mm)
±0.08%F.S.
(F.S.=10mm)
±0.08%F.S.
(F.S.=5mm)
±0.08%F.S.
(F.S.=10mm)
±0.08%F.S.
(F.S.=5mm)
繰返精度※2 0.02μm 0.2μm 0.1μm 0.2μm 0.1μm
サンプリング周期※3 100μs / 200μs / 400μs / 800μs / 1600μs / 3200μs / AUTO
温度特性※4 ±0.01%F.S./℃
(F.S.=2mm)
±0.05%F.S./℃
(F.S.=2mm)
±0.01%F.S./℃
(F.S.=10mm)
±0.01%F.S./℃
(F.S.=5mm)
±0.01%F.S./℃
(F.S.=10mm)
±0.01%F.S./℃
(F.S.=5mm)
質量 約250g(500mm長コネクタケーブルを含む)

型 式 CD5-85 CD5-W85 CD5-150 CD5-W150
光学方式/モード 拡散反射
モード
正反射
モード
拡散反射
モード
正反射
モード
拡散反射式
測定中心距離 85mm 82.3mm 85mm 82.3mm 150mm
測定範囲 ±20mm ±10mm ±20mm ±10mm ±40mm
光源 媒質 赤色半導体レーザ
波長 650nm 658nm 650nm 658nm
最大出力 1mW
レーザ
クラス
IEC/JIS CLASS 2
FDA CLASSⅡ
スポットサイズ※1 約70×290μm 約260×1200μm 約φ180μm 約330×1600μm
リニアリティ※2 ±0.05%F.S.
(F.S.=40mm)
±0.08%F.S.
(F.S.=20mm)
±0.05%F.S.
(F.S.=40mm)
±0.08%F.S.
(F.S.=20mm)
±0.05%F.S.
(F.S.=80mm)
繰返精度※2 1μm 0.5μm 1μm 0.5μm 2μm
サンプリング周期※3 100μs / 200μs / 400μs / 800μs / 1600μs / 3200μs / AUTO
温度特性※4 ±0.01%F.S./℃
(F.S.=40mm)
±0.01%F.S./℃
(F.S.=20mm)
±0.01%F.S./℃
(F.S.=40mm)
±0.01%F.S./℃
(F.S.=20mm)
±0.01%F.S./℃
(F.S.=80mm)
質量 約250g(500mm長コネクタケーブルを含む)

型 式 CD5-W350 CD5-W500 CD5-W2000
光学方式/モード 拡散反射式
測定中心距離 350mm 500mm 2000mm
測定範囲 ±100mm ±200mm ±500mm
光源 媒質 赤色半導体レーザ
波長 658nm
最大出力 1mW 5mW
レーザ
クラス
IEC/JIS CLASS 2 CLASS 3R
FDA CLASSⅡ CLASSⅢa
スポットサイズ※1 約700×2400μm 約1000×3700μm 約2100×7800μm
リニアリティ※2 ±0.08%F.S.
(F.S.=200mm)
±0.08%F.S.
(F.S.=400mm)
±0.1%F.S.
(F.S.=1000mm)
繰返精度※2 5μm 10μm 30μm
サンプリング周期※3 100μs / 200μs / 400μs / 800μs / 1600μs / 3200μs / AUTO
温度特性※4 ±0.01%F.S./℃
(F.S.=200mm)
±0.01%F.S./℃
(F.S.=400mm)
±0.05%F.S./℃
(F.S.=1000mm)
質量 約250g
(500mm長コネクタケーブルを含む)
約450g
(500mm長コネクタ
ケーブルを含む)

<測定条件>
指定のない測定条件は、専用アンプユニットに接続し、周囲温度23℃(常温)、電源電圧DC24V、サンプリング周期100μs(CD5-W350/-W500/-W2000の3機種は800μs)、平均回数256回、測定中心距離、標準測定対象物(正反射式・正反射モード:アルミ蒸着ミラー、拡散反射式・拡散反射モード:白セラミック)、デジタル測定値とします。
※1.測定中心距離にて中心強度の1/e2(13.5%)で定義しています。規定のスポットサイズ以外にも漏れ光があり、検出距離付近の周囲に反射率の高いものがある場合は、その影響を受けることがあります。
※2.平均回数4096回での代表例です。他の条件は、上記の<測定条件>と同様です。
※3.CD5-L(W)25/-(W)30/-(W)85/-(W)150の出荷時設定は100μs、CD5-W350/-W500/-W2000の出荷時設定は800μsとなります。
※4.上記の<測定条件>の代表例です。

センサヘッド:共通仕様

電源電圧 DC12~24V ±10% もしくは専用アンプユニットCD5A-□より供給
消費電流 45mA以下(DC24V時)
通信機能 RS-422 9.6k~1843.2kbps
表示灯 レーザ放射表示灯:緑色(レーザ放射時点灯)
測定範囲表示灯 :橙色(測定中心付近で点灯)
赤色(測定範囲内の近距離側で点灯)
緑色(測定範囲内の遠距離側で点灯)
赤色/緑色交互点灯(測定範囲外もしくは測定不能時交互点灯)
接続形態 コネクタ中継式
耐屈曲ケーブル(最小曲げ半径 固定時:ケーブル直径×4、可動時:ケーブル直径×8)
保護等級 IP67(コネクタ部含む)
使用周囲温度 -10~+50℃(結露および氷結なきこと)/ 保管時:-20~+60℃
使用周囲湿度 35~85%RH / 保管時:35~85%RH
使用周囲照度 3000LUX以下 (白熱ランプでの受光面照度)
耐振動 10~55Hz 複振幅1.5mm X,Y,Z各方向 2時間
耐衝撃 約50G(500m/s²) X,Y,Z各方向 3回
適用法令 EMC EMC指令(2014/30/EU)
環境 RoHS指令(2011/65/EU)、中国RoHS(令第32号)
安全 FDA規則(21 CFR 1040.10)
適用規格 EN 60947-5-7
ウォームアップ時間 約30分
材質 ケース:アルミダイカスト / 投受光部カバー:ガラス
ケーブル延長 延長ケーブル(オプション)にて最長50mまで延長可能

※.専用アンプユニットを介さずセンサヘッド単体で使用する場合、電源投入時は常に9.6kbpsに設定されます。また、ヘッドのサンプリング周期と全測定データが抜けなしで転送可能なボーレートの関係は下記のとおりです。
100μs:921.6kbps、200μs:460.8kbps、400μs:230.4kbps、800μs:115.2kbps、1600μs:57.6kbps、3200μs:38.4kbps

アンプユニット

型 式 CD5A-N CD5A-P
センサヘッド接続台数 max.3台
電源電圧 DC12~24V ±10%
消費電流 350mA/24V(センサヘッド3台接続時、アナログ電流出力含む)
温度特性 ±0.01%F.S./℃
通信機能 RS-232C/USB
アナログ出力 電圧出力:±10V/F.S.(出力インピーダンス100Ω)
電流出力:4~20mA/F.S. (負荷インピーダンス300Ω以下)
アラーム出力 NPNオープンコレクタ PNPオープンコレクタ
max.100mA/DC24V(残留電圧max.1.8V) センサヘッドが測定不能状態のときON
制御出力 NPNオープンコレクタ PNPオープンコレクタ
max.100mA/DC24V(残留電圧max.1.8V) 各HI/LO設定可能、ヒステリシス設定可能
バンク入力 GNDに接続でON 12〜24Vに接続でON
16バンク切換
ホールド入力 GNDに接続でON 12〜24Vに接続でON
測定値ホールド(メニューにて設定)
ゼロリセット入力 GNDに接続でON 12〜24Vに接続でON
センサヘッドA測定値 / センサヘッドB測定値 / センサヘッドC測定値 / 演算値のゼロリセットが可能
レーザ放射停止入力 GNDに接続でON 12〜24Vに接続でON
センサヘッドA / B / C のレーザの消灯が可能
液晶表示 LCDディスプレイ
保護等級 IP20
使用周囲温度 -10~+45℃(結露および氷結なきこと)/保存時:-20~+60℃
使用周囲湿度 35~85%RH/保存時:35~85%RH
耐振動 10~55Hz 複振幅1.5mm X,Y,Z各方向 2時間
耐衝撃 約20G(196m/s²) X,Y,Z各方向 3回
適用法令 EMC EMC指令(2014/30/EU)
環境 RoHS指令(2011/65/EU)、中国RoHS(令第32号)
適用規格 EN 60947-5-7
材質 ケース:ポリカーボネイト 端子台:ナイロン66
質量 約550g(端子台含む)
アンプユニット副機能
●センサヘッド設定
  測定対象設定、キャリブレーション設定{シフト/スパン}、レーザパワー設定、感度設定、
  受光波形しきい値設定、移動平均設定、通信速度設定、アラーム時測定値設定、受光波形モニタ、
  相互干渉防止設定、センサヘッドセットアップ機能
●制御出力設定
  上下限値設定、応差設定、ディレイ設定、ディレイ時間設定、判定ソース設定
●アナログ出力設定
  上下限値設定、判定ソース設定
●演算設定
  演算式設定、測定値増減方向設定、K項設定、シフト設定
●各種ホールド設定
●フィルタ設定
  フィルタ設定、カットオフ周波数設定
●バンク設定
●RS-232C設定
●メモリコピー機能
●測定値表示桁数設定
●ディスプレイ輝度設定
●キー照明設定

● 機種追加されたCD5-150/-W150は、CD5A-□のHardware Ver.1.7およびSoftware Ver.4.3以降で使用可能です。それ以前のCD5A-□をご使用の場合は、当社までお問い合わせください。


レーザ光使用に関する注意
レーザを直接のぞき込んだり、人の目に当てないでください。
目に障害を与えたり、健康を害するおそれがあります。
本製品は可視光レーザビームを放射しており、JIS C 6802/IEC/FDAレーザ安全規格のクラス1・クラス2(Ⅱ)・クラス3R(Ⅲa)に相当します。
センサ側面には、クラス1・クラス2(Ⅱ)・クラス3R(Ⅲa)を示す英文の警告、説明ラベルを貼付しておりますので、日本国内で使用される場合は、同梱の日本語の警告・説明ラベルに貼り替えてご使用ください。
本機で使用するレーザの種類
種類 赤色半導体レーザ
波長 650nm/658nm
出力 390μW/1mW/5mW
1mW(CLASS2)
機器搭載して米国へ輸出する場合、米国FDA(Food and Drug Administration)のレーザー規制を受けます。
本製品はCDRH(Center for Devices and Radiological Health)に届出済みです。
(詳細は当社までお問い合せください)
センサヘッドの取り付け
レーザを直接のぞき込んだり、人の目に当てないでください。
目に障害を与えたり、健康を害するおそれがあります。

段差や色の変化が大きいワーク

センサヘッドの検出面(投受光部面)と検出体が必ず平行になるように取り付けてくださ い。検出位置にスポットが合うように調整し、検出面の基準(変化の中心)で距離表示灯が オレンジ点灯することを確認してください。

回転しているワーク

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