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形状測定センサ
LSシリーズ

高さと幅を、ライン光で高速・高精度測定。

  • リニアリティ ±0.1% of F.S.
  • サンプリング周期 0.5ms（最速）
  • 2次元測定で圧倒的低コスト
LSシリーズ

多彩な測定内容

高さ
「平均」「ピーク」「ボトム」の高さが測定可能。
エリア中のプロファイルの「平均値」「最大値」「最小値」をそれぞれ出力します。 高さ
位置
「ピーク」「ボトム」「エッジ」位置が測定可能です。


位置

幅
溝や段差の幅を測定可能。エリアの高さ方向の中心位置で、プロファイルの幅を検出します。 幅
エッジカウント
エリアの中心高さを横切った回数をカウント。
ピン数カウントなどに使用できます。 エッジカウント

傾き（°）
プロファイルの近似直線を作成し、その傾きを測定します。
（単位：°）溝や突起の両面の角度を測定し、演算します。

傾き（°）
面積（mm2）
エリアとプロファイル間の面積を計算。
「上」を測定すると「突起の断面積」、「下」を測定すると「凹みの断面積」になります 面積（mm2）

線長さ
プロファイルの長さを測定します。
位置がずれても同じ値なので、位置補正無しで使用できます。 線長さ
直径
測定結果の近似曲線の直径を測定。
円柱や突起、溝の径を計算できます。 直径

変曲点
変化した点を検出します。立ち下がり、立ち上がりの位置を正しく検出します。 変曲点

エリア演算で、広がる測定バリエーション

段差測定の例
上面と下面、2つのエリアで高さを測定し、引算することで段差が測定可能。
小さな凹凸、バラツキを無視でき、変位センサに比べて安定した測定が可能です。 段差測定の例
角度測定の例
左右の傾きを、2つのエリアで測定し、引算することで角度が測定可能。
溝や突起の外角を正確に測定します。

角度測定の例

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