電子部品・半導体業界 テーマ別センサ活用提案集

反射板を対向するビューポート外に設置すれば、ビューポート越しで薄ガラス基板の検出が可能。
⻑距離レーザ変位センサを使⽤しなくても、ローコストで安定した検出を実現します。

・ガラスの検出での実績が多数ございます︕

・同軸反射構造を採⽤し、ビューポートは⼩さくても⼤丈夫︕

・ASC（⾃動感度補正）機能により⻑期間にわたっての受光量（ビューポートの汚れなど）低下にも対応可能です。

・最⻑検出距離４mのため、⼤型装置でもビューポート越しの検出が可能です。