シリコンウェハの位置ズレを計測したい。
鏡面体や透明体のエッジが計測できるセンサはないか?
・繰返し精度:±5μm
リニアリティ:±0.4% of F.S.を実現。
・センサヘッドが非常にコンパクト。
装置の小型化に貢献。
・設定で、透明体の計測も可能。
・IO-Linkゲートウェイ「UC2」との接続で、
当社IO-Linkマスタ「URシリーズ」との
IO-Linkでの接続が可能。
種類 | 測定範囲/ヘッド間距離 | 繰返 精度 |
レーザクラス | 接続方式 | 型式 | 詳細ページ |
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透過型 | ±5μm | CLASS 1 | M8 4ピン コネクタ中継式 | TD1-010M8 |