電子部品・半導体業界 テーマ別センサ活用提案集

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位置ズレ検出編

②【鏡面体の検出】

シリコンウェハの位置ズレを計測したい。
鏡面体や透明体のエッジが計測できるセンサはないか?

【ご提案内容】
<透過型エッジセンサでの検出>
エッジ測定センサTD1シリーズをご提案いたします。
受光素子にCMOSを採用しており高精度に端面の位置測定が可能です。
鏡面体や透明体のエッジ計測も可能です。
【オプテックス・エフエーの強み】

・繰返し精度:±5μm
リニアリティ:±0.4% of F.S.を実現。

・センサヘッドが非常にコンパクト。
装置の小型化に貢献。

・設定で、透明体の計測も可能。

・IO-Linkゲートウェイ「UC2」との接続で、
当社IO-Linkマスタ「URシリーズ」との
IO-Linkでの接続が可能。

【ご提案する製品】
種類 測定範囲/ヘッド間距離 繰返
精度
レーザクラス 接続方式 型式 詳細ページ
透過型 ±5μm CLASS 1 M8 4ピン コネクタ中継式 TD1-010M8

 ③【プリント基板の検出】



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