ウェハ搬送ロボットにセンサが設置できません。
カセット内の全てのウェハを同時に
マッピングする方法はありませんか?
・耐屈曲や耐熱250℃など豊富なラインアップでお客様の設置環境などにあわせてご提案が可能です。
・IO-Linkをはじめとして、CC-LinkやEtherCAT、EtherNet/IPなどの各種通信対応機器をラインアップ。
安定検出だけでなく、通信を活用したデータ収集などのご提案が可能です。
・半導体洗浄装置での実績も豊富。これまでの知見を活かし、お客様へご提案させて頂きます。
型式 | 図面 | 内容 | 使用周囲温度 | 最小曲げ半径 | 詳細ページ |
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NF-DC05 |
フリーカット | 0~+70℃ | R25mm | ||
NF-DC06 | 耐屈曲 フリーカット |
0~+70℃ | R4mm | ||
NF-DC04 | 耐屈曲 フリーカット |
0~+70℃ | R4mm | ||
NF-DH10 | 耐熱250℃ | -20~+250℃ (常温側:-20~+70℃) |
R25mm | ||
NF-DH11 | 長距離 耐熱250℃ |
-20~+250℃ (常温側:-20~+70℃) |
R25mm |