センサをウェハに近づけられません。
ウェハからできる限り離して検出したいのですが、
何かよいものはありますか?
・高精度C-MOSレーザセンサ「BGS-HDLシリーズ」は金属の傾きに強く、安定してウェハの端面を検出可能。
・2出力なので、1台でマッピングだけでなく、飛び出しも同時に検出可能。
・半導体洗浄装置での実績も豊富。これまでの知見を活かし、お客様へご提案させて頂きます。
種類 | 形状 | 検出距離 | 制御出力 | レーザクラス (JIS/IEC) |
型式 | 詳細ページ |
---|---|---|---|---|---|---|
C-MOS レーザ |
2出力 | CLASS1 | BGS-HDL05T | |||
2出力 | CLASS2 | BGS-HDL25T2 |