ウェハ搬送ロボットにマッピング用センサを付けたい。
透過型が設置できないので、反射型ファイバセンサで
何か良いセンサはありませんか?
・限定反射型なので、シリコンやガラスなど材質を選ばずに検出が可能です。
・IO-Linkをはじめとして、CC-LinkやEtherCAT、EtherNet/IPなどの各種通信対応機器をラインアップ。
安定検出だけでなく、通信を活用したデータ収集などのご提案が可能です。
・半導体洗浄装置での実績も豊富。これまでの知見を活かし、お客様へご提案させて頂きます。
※0.5mm厚まで検出が可能です。
型式 | 図面 | 内容 | 使用周囲温度 | 最小曲げ半径 | 詳細ページ |
---|---|---|---|---|---|
NF-DC03 | 限定反射型 フリーカット |
-40~+60℃ | R25mm |