電子部品・半導体業界
テーマ別センサ活用提案集
INDEX
搬送編
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①【真空チャンバー内のガラス基板検出】
②【腐⾷環境でのウェハ検出】
③【搬送ロボットのアーム垂れ計測】
④【搬送ステージでのワーク吸着管理】
位置ズレ検出編
①【透明体の検出】
②【鏡面体の検出】
③【プリント基板の検出】
④【基板のアライメント】
⑤【基板ピッキングのためのアライメント】
マッピング編
①【透過型狭視界ファイバユニット】
②【限定反射型マッピングファイバユニット】
③【限定反射型アライメントファイバユニット】
④【BGSセンサ（距離設定型）】
水検出編
①【パイプでの水検出のご提案】
②【タンクでの水検出のご提案】
③【特殊ファイバセンサでの水検出のご提案】
④【流量計・圧力計のIO-Link化のご提案】
①【真空チャンバー内のガラス基板検出】
