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工程改善集「有無検出」の絞り込み結果一覧
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高さ・段差判別
半導体
変位センサ
真空チャンバの蓋開閉確認
装置の温度管理
半導体
非接触（放射）温度計
チャンバー天板の温度測定
位置決め・アライメント
半導体
外径測定器
ウェハのエッジ検出
位置決め・アライメント
半導体
光電センサ
ウェハアライメントコントール
温度測定
半導体
非接触（放射）温度計
石英ガラス越しチャンバ内ステージ温度計測
位置決め・アライメント
半導体
光電センサ
ウェハマッピング③
厚み測定
半導体
変位センサ
ファインセラミックス板の厚み測定
位置決め・アライメント
半導体
変位センサ
搬送ロボットのアーム垂れ計測
その他
半導体
IO-Link
搬送ステージでのガラス基板吸着管理
透明体検出・測定
半導体
光電センサ
ガラス基板の位置ズレ検出
位置決め・アライメント
半導体
変位センサ
プリント基板の位置ズレ検出
位置決め・アライメント
半導体
光電センサ
フープ内のウェハの有無・飛出し・傾き検出
高さ・段差判別
半導体
光電センサ
シリコンウェハの乗り上げ検出
高さ・大きさ測定
半導体
変位センサ
ダイシングソーのフレ計測
高さ・大きさ測定
半導体
変位センサ
ウェハインゴット外形サイズ測定
有無検出
半導体
光電センサ
フープの着座確認
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反り・歪み・たるみ・蛇行検出
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透明体検出・測定
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厚み測定
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高さ・大きさ測定
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温度測定
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装置の温度管理
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その他
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光電センサ
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変位センサ
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外径測定器
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IO-Link
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非接触（放射）温度計
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水位センサ
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