真空チャンバの蓋開閉確認

レーザ変位センサCD2Hシリーズで真空チャンバの蓋の開閉・浮き・傾き計測を行うことで、リークの発生を事前に防止します。
CD2Hシリーズは小型かつアンプ内蔵でありながら、最長1,200mmの長距離測定が可能。IO-Link通信にも対応し、ノイズの影響のない高精度な測定を実現します。