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フープの着座確認
有無検出 / 半導体
有無検出
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フープの着座確認
限定反射型のNF-DC38を使用し、ガラス基板の着座を検出します。限定反射型なのでフープが透明でも安定した検出が可能です。
使用製品
ファイバユニット
NFシリーズ 限定反射タイプ
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腐食環境でのウェハ検出
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