その他 / 半導体

搬送ステージでのガラス基板吸着管理

搬送ステージでのガラス基板吸着管理

IO-LinkマスタURシリーズで、「ガラス基板」を吸着し搬送する際の圧力値を管理します。
他社IO-Linkマスタよりも小型、多チャンネルなURシリーズなら、省スペース&低コストを実現できます。
またIO-Linkはデジタル通信のため、ノイズの心配もなく正確な数値管理が可能です。アナログ出力のような煩雑なスケーリングもなくご使用いただけます。

使用製品

IO-Linkマスタ URシリーズ

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