石英ガラス越しチャンバ内ステージ温度計測

GTL-3Mシリーズでチャンバ内のステージ温度測定を行います。従来の非接触温度計は窓材を測定してしまい、チャンバ内の温度測定ができませんでした。GTL-3Mなら測定波長2.3μmを採用をしているため、2.3μmの波長を透過する石英ガラスを窓材に使用すれば、チャンバ内の温度測定が可能です。石英ガラスは比較的入手がかんたんで導入は容易です。