装置の温度管理 / 半導体

チャンバー天板の温度測定

チャンバー天板の温度測定

非接触温度計で測定が難しい対象物の場合、炉内のステージまたは天板を代わりに測定することでプロセス温度の管理が可能となります。非接触温度計TI-Sシリーズでは周囲環境の温度変化の影響を受けにくく、±1℃の精度で測定が可能なため、シビアな管理を実現できます。

使用製品

IO-Link対応 非接触温度計 TI-Sシリーズ

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