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レーザ変位センサCD5-30と変位センサコントロールユニットUQ1により10msごとのデータ保存をし、ガラス基板の倣い制御を行います。UQ1を使用しない通常のPLCとのシリアル通信では、CPUのスキャンタイムによりサンプリング間隔が不安定になってしまいますが、三菱電機製MELSEC-Qシリーズと接続可能なUQ1を使用すれば、そのストレージ機能により確実にデータサンプリングが可能。安定した倣い制御を実現します。
正反射型のレーザ変位センサCD33-L30で露光ヘッドのZ軸アライメントを行います。CD33は小型・軽量設計なので可動する露光ヘッドに取り付けても負荷が小さく、ヘッドの動きを妨げないアライメントが可能です。また変位センサコントロールユニットUQ1を使用すれば三菱電機製MELSEC-Qシリーズとアンプを介さずに接続可能。ラダーやPLCの知識がなくても、専用ソフトにより変位センサの設定を短時間で行うことが可能です。
正反射型の変位センサCD33-L30で、マスクの高さを制御するとともにガラスの厚みを測定します。マスクまでの距離を測定し最適な高さに調整し、その後ガラス基板がその上を通過するときに厚みを測定します。透明度の高いガラス基板なら変位センサ2台で挟み込んで測定しなくても0.7mm以上の厚みを測定可能です。またUQ1を使用すればセンサを複数台使用する場合の演算設定も、専用設定ソフトウェア「UQ1 Navigator」により誰でもかんたんに短時間で設定することが可能です。
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