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超高精度レーザ変位センサ
CDXシリーズ

世界最高リニアリティ！

  • 新開発イメージセンサ：ATMOS
  • ダイレクトにEthernet接続
  • WEBサーバ搭載

種類・標準価格

■センサヘッド

種　類 測定範囲 スポット
サイズ		 分解能 リニアリティ 型式 標準価格
（税別）
拡散反射
モード		 正反射
モード
正反射 スポット φ30μm 0.01μm − ±0.05% of F.S.
（±1μm）		 CDX-L15 385,000円
ワイド 30×1000μm CDX-LW15
ショート
レンジ		 スポット φ30μm 0.05μm ±0.03% of F.S.
（±3μm）		 ±0.04% of F.S.
（±2.4μm）		 CDX-30
ワイド 30×1000μm ±0.015% of F.S.
（±1.5μm）		 CDX-W30
ミドル
レンジ		 スポット φ70μm 0.1μm 測定範囲
65～85mm：
±0.018% of F.S.
（±7.2μm）

測定範囲
85～105mm：
±0.03% of F.S.
（±12.0μm）		 ±0.03%
of F.S.
（±6.0μm）		 CDX-85
ワイド 70×
2000μm		 ±0.015% of F.S.
（±6.0μm）		 CDX-W85
ロング
レンジ		 スポット   φ120μm 0.2μm 測定範囲
110～150mm：
±0.03% of F.S.
（±24μm）

測定範囲
150～190mm：
±0.04% of F.S.
（±32μm）		 − CDX-150
ワイド 120×
4000μm		 ±0.015% of F.S.
（±12μm）		 CDX-W150

仕様

■センサヘッド（型式別仕様）

型　式 CDX-L15 CDX-LW15 CDX-30 CDX-W30
光学方式 正反射式 拡散反射設置時 正反射設置時 拡散反射設置時 正反射設置時
測定範囲※1 15±1mm 30±5mm 25.5±3.0mm 30±5mm 25.5±3.0mm
光 源 媒質 赤色半導体レーザ
波長 655nm
最大出力 0.39mW
レーザクラス JIS/IEC CLASS 1
FDA※2 CLASS 1
スポットサイズ※3 φ30μm 30×1000μm φ30μm 30×1000μm
リニアリティ ±0.05% of F.S.
（±1μm）		 ±0.03% of F.S.
（±3μm）		 ±0.04% of F.S.
（±2.4μm）		 ±0.015% of F.S.
（±1.5μm）		 ±0.04% of F.S.
（±2.4μm）
分解能※4 0.01μm 0.05μm 0.05μm
繰返精度※5 0.01μm 0.05μm 0.05μm
サンプリング周期 12.5μs / 25μs / 50μs / 100μs / 200μs / 500μs / 1ms / Auto
温度特性 -10～+40℃ ±0.02% FS/℃ ±0.03%FS/℃ ±0.01%FS/℃ ±0.02%FS/℃
+40～+50℃ ±0.03% FS/℃ ±0.1%FS/℃ ±0.03%FS/℃ ±0.04%FS/℃
質量 約300g（500mm長コネクタケーブルを含む） 約280g（500mm長コネクタケーブルを含む） 約280g（500mm長コネクタケーブルを含む）
型　式 CDX-85 CDX-W85 CDX-150 CDX-W150
光学方式 拡散反射設置時 正反射設置時 拡散反射設置時 正反射設置時 拡散反射設置時
測定範囲※1 85±20mm 81.5±10.0mm 85±20mm 81.5±10.0mm 150±40mm
光 源 媒質 赤色半導体レーザ
波長 655nm
最大出力 0.39mW
レーザクラス JIS/IEC CLASS 1
FDA※2 CLASS 1
スポットサイズ※3 φ70μm 70×2000μm φ120μm 120×4000μm
リニアリティ 測定範囲
65～85mm：
±0.018% of F.S.
（±7.2μm）

測定範囲
85～105mm：
±0.03% of F.S.
（±12.0μm）		 ±0.03% of F.S.
（±6.0μm）		 ±0.015% of F.S.
（±6.0μm）		 ±0.03% of F.S.
（±6.0μm）		 測定範囲
110～150mm：
±0.03% of F.S.
（±24μm）

測定範囲
150～190mm：
±0.04% of F.S.
（±32μm）		 ±0.015% of F.S.
（±12μm）
分解能※4 0.1μm 0.1μm 0.2μm
繰返精度※5 0.1μm 0.1μm 0.2μm
サンプリング周期 12.5μs / 25μs / 50μs / 100μs / 200μs / 500μs / 1ms / Auto
温度特性 -10～+40℃ ±0.01% F.S./℃
+40～+50℃ ±0.03% F.S./℃
質量 約280g（500mm長コネクタケーブルを含む）

○ CDXシリーズのセンサヘッドは、「輸出貿易管理令 別表第一 2-(12)測定装置に該当しております。分解能に制限を加えた非該当品については、こちらを参照してください。

【測定条件】
特に指定のない場合、以下の測定条件で測定したものとします。
周囲温度：25℃（常温）、電源電圧：DC24V、サンプリング周期：50μs、移動平均回数：256、メディアンフィルタ：31、測定中心距離、標準対象測定物（15mm/30mmタイプは[正反射：ガラス]、 85mmタイプは[正反射：アルミ蒸着ミラー]、[拡散反射：可視光遮蔽性セラミック]）。またセンサヘッドは、アルミ治具にて固定して測定しています。

※1.サンプリング周期を最速の12.5μsに設定した場合、測定範囲が狭くなります。下記Near/Center/Farから1つを選択して使用してください。

型式 測定範囲
Near Center Far
CDX-L15/-LW15 14.0～14.6mm 14.4～15.4mm 15.3～16.0mm
CDX-30/-W30 拡散反射設置時 25.0～28.1mm 27.8～31.9mm 31.1～35.0mm
正反射設置時 22.5～24.0mm 22.8～27.9mm 26.7～28.5mm
CDX-85/-W85 拡散反射設置時 65.0～77.7mm 73.5～90.8mm 84.8～105.0mm
正反射設置時 71.5～74.3mm 70.6～86.9mm 81.0～91.5mm
CDX-150/-W150 110.0～134.4mm 124.8～166.3mm 150.2～190.0mm

※2.FDAのLaser Notice No.50 の規定に従い、IEC 60825-1:2007の基準にてCLASS1に分類されます。

※3.測定中心距離にて中心強度の1/e2 (13.5%)。規定のスポットサイズ以外にも漏れ光があり、検出距離付近周囲に反射率の高いもの
　　がある場合は、その影響を受けることがあります。
※4.センサとターゲット間の距離を1ステップずつ変化させた際に、その判別できる最小ステップ（移動平均回数65536回時）
※5.静止状態で測定した時の測定値のピークtoピーク値（移動平均回数65536回時）

■センサヘッド（共通仕様）

電源電圧 DC12～24V（±10%、リップルを含む）
消費電流 340mA（DC12V時）、180mA（DC24V時）
通信インタフェース Ethernet（100BASE-TX）/IEEE1588対応
外部入力 レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセットから選択可能
表示灯 リンク表示灯（緑）/ パワー表示灯（橙/ 緑/ 青/ 赤）
接続形態 コネクタ中継式
耐屈曲ケーブル（最小曲げ半径　固定時：ケーブル直径×4、可動時：ケーブル直径×9）
保護等級 IP67（コネクタ部を含む）
使用周囲温度/湿度 ‒10～+50℃ / 35～85% RH（結露および氷結なきこと）
保管温度/湿度 ‒20～+60℃ / 35～85% RH（結露および氷結なきこと）
使用周囲照度 白熱灯：3000lx 以下、蛍光灯：10000lx 以下
耐振動 10～55Hz　複振幅1.5mm　X, Y, Z 各方向 2時間
耐衝撃 50G (500m/s²)　X, Y, Z各方向 3回
適用法令 EMC EMC指令（2014/30/EU）
環境 RoHS指令（2011/65/EU）、バッテリー規則（(EU)/2023/1542）、中国RoHS（令第32号）
安全 FDA規則（21 CFR 1040.10および1040.11）※6
適用規格 EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
ウォームアップ時間 約30分
材質 本体：アルミダイカスト　　投光窓：ガラス

※6.Laser Notice No.50 による相違点を除く。

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