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超高精度レーザ変位センサ
CDXシリーズ

世界最高リニアリティ!

  • 新開発イメージセンサ:ATMOS
  • ダイレクトにEthernet接続
  • WEBサーバ搭載

種類・標準価格

■センサヘッド

種 類 測定範囲 スポット
サイズ
分解能 リニアリティ 型式 標準価格
(税別)
拡散反射
モード
正反射
モード
正反射 スポット φ30μm 0.01μm ±0.05% of F.S.
(±1μm)
CDX-L15 385,000円
ワイド 30×1000μm CDX-LW15
ショート
レンジ
スポット φ30μm 0.05μm ±0.03% of F.S.
(±3μm)
±0.04% of F.S.
(±2.4μm)
CDX-30
ワイド 30×1000μm ±0.015% of F.S.
(±1.5μm)
CDX-W30
ミドル
レンジ
スポット φ70μm 0.1μm 測定範囲
65~85mm:
±0.018% of F.S.
(±7.2μm)

測定範囲
85~105mm:
±0.03% of F.S.
(±12.0μm)
±0.03%
of F.S.
(±6.0μm)
CDX-85
ワイド 70×
2000μm
±0.015% of F.S.
(±6.0μm)
CDX-W85
ロング
レンジ
スポット   φ120μm 0.2μm 測定範囲
110~150mm:
±0.03% of F.S.
(±24μm)

測定範囲
150~190mm:
±0.04% of F.S.
(±32μm)
CDX-150
ワイド 120×
4000μm
±0.015% of F.S.
(±12μm)
CDX-W150

仕様

■センサヘッド(型式別仕様)

型 式 CDX-L15 CDX-LW15 CDX-30 CDX-W30
光学方式 正反射式 拡散反射設置時 正反射設置時 拡散反射設置時 正反射設置時
測定範囲※1 15±1mm 30±5mm 25.5±3.0mm 30±5mm 25.5±3.0mm
光 源 媒質 赤色半導体レーザ
波長 655nm
最大出力 0.39mW
レーザクラス JIS/IEC CLASS 1
FDA※2 CLASS 1
スポットサイズ※3 φ30μm 30×1000μm φ30μm 30×1000μm
リニアリティ ±0.05% of F.S.
(±1μm)
±0.03% of F.S.
(±3μm)
±0.04% of F.S.
(±2.4μm)
±0.015% of F.S.
(±1.5μm)
±0.04% of F.S.
(±2.4μm)
分解能※4 0.01μm 0.05μm 0.05μm
繰返精度※5 0.01μm 0.05μm 0.05μm
サンプリング周期 12.5μs / 25μs / 50μs / 100μs / 200μs / 500μs / 1ms / Auto
温度特性 -10~+40℃ ±0.02% FS/℃ ±0.03%FS/℃ ±0.01%FS/℃ ±0.02%FS/℃
+40~+50℃ ±0.03% FS/℃ ±0.1%FS/℃ ±0.03%FS/℃ ±0.04%FS/℃
質量 約300g(500mm長コネクタケーブルを含む) 約280g(500mm長コネクタケーブルを含む) 約280g(500mm長コネクタケーブルを含む)
型 式 CDX-85 CDX-W85 CDX-150 CDX-W150
光学方式 拡散反射設置時 正反射設置時 拡散反射設置時 正反射設置時 拡散反射設置時
測定範囲※1 85±20mm 81.5±10.0mm 85±20mm 81.5±10.0mm 150±40mm
光 源 媒質 赤色半導体レーザ
波長 655nm
最大出力 0.39mW
レーザクラス JIS/IEC CLASS 1
FDA※2 CLASS 1
スポットサイズ※3 φ70μm 70×2000μm φ120μm 120×4000μm
リニアリティ 測定範囲
65~85mm:
±0.018% of F.S.
(±7.2μm)

測定範囲
85~105mm:
±0.03% of F.S.
(±12.0μm)
±0.03% of F.S.
(±6.0μm)
±0.015% of F.S.
(±6.0μm)
±0.03% of F.S.
(±6.0μm)
測定範囲
110~150mm:
±0.03% of F.S.
(±24μm)

測定範囲
150~190mm:
±0.04% of F.S.
(±32μm)
±0.015% of F.S.
(±12μm)
分解能※4 0.1μm 0.1μm 0.2μm
繰返精度※5 0.1μm 0.1μm 0.2μm
サンプリング周期 12.5μs / 25μs / 50μs / 100μs / 200μs / 500μs / 1ms / Auto
温度特性 -10~+40℃ ±0.01% F.S./℃
+40~+50℃ ±0.03% F.S./℃
質量 約280g(500mm長コネクタケーブルを含む)

○ CDXシリーズのセンサヘッドは、「輸出貿易管理令 別表第一 2-(12)測定装置に該当しております。分解能に制限を加えた非該当品については、こちらを参照してください。

【測定条件】
特に指定のない場合、以下の測定条件で測定したものとします。
周囲温度:25℃(常温)、電源電圧:DC24V、サンプリング周期:50μs、移動平均回数:256、メディアンフィルタ:31、測定中心距離、標準対象測定物(15mm/30mmタイプは[正反射:ガラス]、 85mmタイプは[正反射:アルミ蒸着ミラー]、[拡散反射:可視光遮蔽性セラミック])。またセンサヘッドは、アルミ治具にて固定して測定しています。

※1.サンプリング周期を最速の12.5μsに設定した場合、測定範囲が狭くなります。下記Near/Center/Farから1つを選択して使用してください。

型式 測定範囲
Near Center Far
CDX-L15/-LW15 14.0~14.6mm 14.4~15.4mm 15.3~16.0mm
CDX-30/-W30 拡散反射設置時 25.0~28.1mm 27.8~31.9mm 31.1~35.0mm
正反射設置時 22.5~24.0mm 22.8~27.9mm 26.7~28.5mm
CDX-85/-W85 拡散反射設置時 65.0~77.7mm 73.5~90.8mm 84.8~105.0mm
正反射設置時 71.5~74.3mm 70.6~86.9mm 81.0~91.5mm
CDX-150/-W150 110.0~134.4mm 124.8~166.3mm 150.2~190.0mm

※2.FDAのLaser Notice No.50 の規定に従い、IEC 60825-1:2007の基準にてCLASS1に分類されます。

※3.測定中心距離にて中心強度の1/e2 (13.5%)。規定のスポットサイズ以外にも漏れ光があり、検出距離付近周囲に反射率の高いもの
  がある場合は、その影響を受けることがあります。
※4.センサとターゲット間の距離を1ステップずつ変化させた際に、その判別できる最小ステップ(移動平均回数65536回時)
※5.静止状態で測定した時の測定値のピークtoピーク値(移動平均回数65536回時)

■センサヘッド(共通仕様)

電源電圧 DC12~24V(±10%、リップルを含む)
消費電流 340mA(DC12V時)、180mA(DC24V時)
通信インタフェース Ethernet(100BASE-TX)/IEEE1588対応
外部入力 レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセットから選択可能
表示灯 リンク表示灯(緑)/ パワー表示灯(橙/ 緑/ 青/ 赤)
接続形態 コネクタ中継式
耐屈曲ケーブル(最小曲げ半径 固定時:ケーブル直径×4、可動時:ケーブル直径×9)
保護等級 IP67(コネクタ部を含む)
使用周囲温度/湿度 ‒10~+50℃ / 35~85% RH(結露および氷結なきこと)
保管温度/湿度 ‒20~+60℃ / 35~85% RH(結露および氷結なきこと)
使用周囲照度 白熱灯:3000lx 以下、蛍光灯:10000lx 以下
耐振動 10~55Hz 複振幅1.5mm X, Y, Z 各方向 2時間
耐衝撃 50G (500m/s²) X, Y, Z各方向 3回
適用法令 EMC EMC指令(2014/30/EU)
環境 RoHS指令(2011/65/EU)、バッテリー規則((EU)/2023/1542)、中国RoHS(令第32号)
安全 FDA規則(21 CFR 1040.10および1040.11)※6
適用規格 EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
ウォームアップ時間 約30分
材質 本体:アルミダイカスト  投光窓:ガラス

※6.Laser Notice No.50 による相違点を除く。

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