位置決め・制御
ガラス表面検査カメラのフォーカス
ガラス表面検査用カメラのフォーカス用にレーザ変位センサCD5-W30を使用します。
CD5の正反射モードなら、ガラス表面と裏面を正しく分離可能。ガラス表面までの距離を正確に計測することで、カメラを正確にフォーカスさせることが可能です。
高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-W30
修正装置用顕微鏡のフォーカス
レーザ変位センサCD33-L30でガラス基板までの距離を測定し、顕微鏡の焦点合わせを行います。
CD33の標準価格は98,000円でも繰返精度はわずか1μm 。ローコストでの焦点合わせを実現します。
C-MOSレーザ変位センサ
CD33
ロボットアームの高さ制御
レーザ変位センサCD33でロボットを制御します。
受光素子にCMOSイメージセンサを採用したCD33なら、ワークの色や光沢の影響を受けない測定が可能。厚みを安定して測定できるので、ワークを掴みに行く際のロボットアームの高さを正確に制御することが可能です。
C-MOSレーザ変位センサ
CD33
薄板ロールのクレーン制御
CD5-W2000は最大2500mmで測定可能。径の大きい薄板ロールでも30μm単位で測定可能ですので高精度にクレーンを制御することが可能です。
高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-W2000
