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測定・検査用途別アプリケーション集 変位センサ工程改善事例
テーマごとのアプリケーション(工程改善事例)を通じて、品質向上&コスト削減をご提案します。

反り・うねり・歪み・平衝度測定反り・うねり・歪み・平衝度測定
レーザ変位センサ(変位計)を使用し、非接触で対象物の反り・うねり・歪み・平衝度を測定することが可能です。
対象物により複数台のセンサで差分を演算し測定する方法が一般的です。

太陽電池基板の平衡度・厚み測定

正反射モードを搭載したCD5-W85なら透明な太陽電池基板を高精度に測定可能。
またアンプの演算機能を使用すれば、手間のかかる平衡度や厚みの演算設定を短時間で簡単に行うことが可能です。

高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-W85+CD5A-N

ガラス板のうねり量計測

レーザ変位センサCD5-W85を複数台使用し、透明なガラス板のうねり量を測定します。
CD5-W85は透明体も測定できる正反射型モードを搭載しているので、ガラス板でもうねりや厚みを高精度に測定可能です。
またアンプの演算機能を使用すれば、手間のかかる多点計測の演算設定も短時間で簡単に行えます。

高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-W85+CD5A-N

基板の反り測定

CD33は受光素子に最新のC-MOS素子を採用。基板の反りを高精度に測定します。

C-MOSレーザ変位センサ
CD33-30N□

基材シート反り計測

多層基板の基材シートを積層する際のたわみ量を計測し、最適なテンションでチャックするように制御します。
レーザ変位センサCD5-85なら繰返精度1μmで計測可能。四隅をチャックした際の、たわみ量を正確に制御することが可能です。

高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-85

ブレーキパッドの平行度測定

CD33は受光素子に高感度C-MOS素子を採用しているので、パッドの色の影響をほとんど受けずに平行度が測定可能です。

C-MOSレーザ変位センサ
CD33-30N□

マスクの移載たわみ測定

マスク移載する工程で高価なマスクを傷つけないよう、マスクまでの距離を測定し吸着ロボットを制御します。
C-MOSレーザ変位センサCD33なら正反射型もラインナップしているので透明マスクでも高精度に測定可能。マスクを傷めることなく移載することが可能です。

C-MOSレーザ変位センサ
CD33


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