厚み測定
太陽電池基板の平衡度・厚み測定
正反射モードを搭載したCD5-W85なら透明な太陽電池基板を高精度に測定可能。
またアンプの演算機能を使用すれば、手間のかかる平衡度や厚みの演算設定を短時間で簡単に行うことが可能です。
高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-W85+CD5A-N
インクジェット塗布膜の計測
インクジェット塗布装置におけるガラス基板への塗布工程において、膜厚測定をレーザ変位センサCD5-30にて行います。
CD5-30ならクラス最高0.2μmの繰返精度で膜圧を測定可能。液晶配向膜や太陽電池分野にも適用可能です。
高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-30+CD5A-N
透明フィルムの厚み測定
透明フィルムやシート材の厚みをレーザ変位センサCD5-LW25で測定します。
フィルムやシート材が透明であっても繰返精度0.02μmと高精度で測定可能。
2台のセンサヘッドを対向設置し演算設定を行うことで、安定した測定が行えます。
高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-LW25
二次電池の電極板の厚み測定
正反射モードを搭載したレーザ変位センサCD5-W85なら、光沢のある電極板でも高精度に測定可能。
またアンプの演算機能を使用すれば、手間のかかる厚みの演算設定を短時間で簡単に行うことができます。
高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-W85
スパッタリングターゲットの厚み測定
スパッタリングターゲットの厚みをレーザ変位センサCD5-30で測定します。
オプテックス・エフエー独自の新開発テクノロジー"Tri-CORE"により真の測定安定性を実現。正反射モードで繰返精度0.1μmと高精度測定を可能にしたので、スパッタリングターゲットのムラを抑制。成膜時の精度向上に貢献します。
高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-30
ゴムシートの厚み検出
2台のセンサの測定結果を演算することで、ゴムシートにバタツキがあっても厚み測定が可能です。 2台のセンサヘッドを対向設置し演算設定を行うことで、安定した測定が行えます。
高精度レーザ変位センサ
CD4-30(J)
カレンダリング工程でのゴムシート厚み測定
カレンダーローラーとゴムの距離を個々に測定し、その差でゴムの厚みを測定します。
高速・非接触で測定することによりゴムに傷をつけない上、不良部分を最小限にすることが可能です。
高性能マルチレーザ変位センサ
CD5-W85
建材ボードの厚み測定
CD33-250N□は小型にもかかわらず測定範囲が100〜400mmと広いので、建材ボードの品種（厚み）が変わってもセンサの取付位置を変えることなく測定することが可能です。
C-MOSレーザ変位センサ
CD33-250N□
