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半導体
半導体
工程改善集「有無検出」の絞り込み結果一覧
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装置の温度管理
半導体
非接触（放射）温度計
チャンバー天板の温度測定
位置決め・アライメント
半導体
外径測定器
ウェハのエッジ検出
位置決め・アライメント
半導体
光電センサ
ウェハアライメントコントール
温度測定
半導体
非接触（放射）温度計
石英ガラス越しチャンバ内ステージ温度計測
位置決め・アライメント
半導体
光電センサ
ウェハマッピング③
厚み測定
半導体
変位センサ
ファインセラミックス板の厚み測定
位置決め・アライメント
半導体
変位センサ
搬送ロボットのアーム垂れ計測
その他
半導体
IO-Link
搬送ステージでのガラス基板吸着管理
透明体検出・測定
半導体
光電センサ
ガラス基板の位置ズレ検出
位置決め・アライメント
半導体
変位センサ
プリント基板の位置ズレ検出
位置決め・アライメント
半導体
光電センサ
フープ内のウェハの有無・飛出し・傾き検出
高さ・段差判別
半導体
光電センサ
シリコンウェハの乗り上げ検出
高さ・大きさ測定
半導体
変位センサ
ダイシングソーのフレ計測
高さ・大きさ測定
半導体
変位センサ
ウェハインゴット外形サイズ測定
有無検出
半導体
光電センサ
フープの着座確認
重なり・はみ出し検出
半導体
光電センサ
ソーラーシリコンパネル2枚検出
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リセット
有無検出
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カウント・通過検出
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位置決め・アライメント
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高さ・段差判別
2
重なり・はみ出し検出
5
反り・歪み・たるみ・蛇行検出
2
透明体検出・測定
3
厚み測定
3
高さ・大きさ測定
6
レベル制御
1
外観・形状検査
1
温度測定
1
装置の温度管理
1
その他
1
半導体
47
光電センサ
26
変位センサ
14
外径測定器
1
IO-Link
1
画像センサ
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非接触（放射）温度計
2
圧力センサ
水位センサ
1
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