ウェハアライメントコントール

ウェハのアライメントをデジタルファイバアンプD4RFシリーズとファイバユニットNF-TK77を使いコントロールします。NF-TK77なら、許容曲げ半径が1mmなので、装置の狭い隙間を通し最小限のスペースで配線ができます。さらに折れる心配もなく、安定した検出を実現します。