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位置決め・アライメント / 半導体
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ウェハマッピング③
限定反射型ファイバユニット・NF-DCシリーズを使って、ウェハマッピングを行います。最小3.8mmの厚みで容易に複数台の設置ができ、短時間でマッピングできます。さらにシリコンだけでなく、ガラスなどの透明なウェハも検出が可能です。
使用製品
ファイバユニット
NFシリーズ 限定反射タイプ
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