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厚み測定 / 半導体
厚み測定
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変位センサ
インクジェット塗布膜の計測
インクジェット塗布装置におけるガラス基板への塗布工程において、膜厚測定をレーザ変位センサCD5-30にて行います。
CD5-30ならクラス最高0.2μmの繰返精度で膜圧を測定可能。液晶配向膜や太陽電池分野にも適用可能です。
使用製品
高性能マルチレーザ変位センサ
CD5シリーズ
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