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厚み測定 / 半導体
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ファインセラミックス板の厚み測定
表面研磨したファインセラミックスの厚み測定をレーザ変位センサCD2Hシリーズで行います。
セラミックスの四隅と中心部の5か所を同時に測定します。四隅は30mmの近距離タイプを、中心部は130mmの中距離タイプを使うことで、5か所を同時に測定できます。
CD2Hはクラス最高0.1μmの繰返精度で、高精度に測定が可能です。またIO-Linkに対応し、専用のソフトウェア(無償)を使えば、測定したデータを即座にロギングすることも可能です。
使用製品
有機EL搭載C-MOSレーザ変位センサ
CD2Hシリーズ
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インクジェット塗布膜の計測
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