インクジェット塗布膜の計測

インクジェット塗布装置におけるガラス基板への塗布工程において、膜厚測定をレーザ変位センサCDX-30にて行います。
CDX-30なら、0.05μmの繰返精度で膜圧を測定可能。またサンプリング周期は最速で12.5μsと従来比8倍の高速化を達成しているので、タクトを大きく向上させることもできます。
CDX-30は、液晶配向膜や太陽電池分野での品質向上や省力化に貢献します。