ウェハの姿勢計測

ロボットアームに載ったウェハの姿勢をレーザ変位センサCD33-L30で計測します。
CD33-L30は正反射型なので、ウェハのような鏡面体でも正確に姿勢を計測することができます。 またコントローラにUQ1-02を使用すれば三菱電機MELSEC-Qシリーズと簡単に接続可能。センサを複数台使用する場合の演算設定も専用設定ソフトウェア「UQ1 Navigator」により誰でもかんたんに短時間で設定することができます。