高さ・大きさ測定 / 半導体

アニール深さの制御

レーザ変位センサCD5でSi基板を測定し、アニール深さを制御します。
正反射式のCD5-L25なら繰返精度0.02μmで測定が可能。アニール深さを正確に制御することができます。