「どれくらい細かい単位で測定できるか」という、センサの目盛りの細かさです。
例えば定規であれば、目盛りが1mmなので、「分解能は1mm」となります。

レーザ変位センサは、静止状態でも測定値がバラつきます。
静止しているワークの同じ位置を繰り返し測定した際の値のバラつき量が、繰返精度です。

センサが測定できる距離の範囲を表します。
測定対象までの距離や段差、移動範囲がこの範囲に収まるように機種を選定する必要があります。

リニアリティとは、測定値と実際の変位（距離）の値のズレ量です。
本来は単に“直線性”という意味ですが、変位センサでは距離に対する誤差の最大値を指します。

もしセンサに誤差がなければ、「実際の距離」と「測定値」の関係は1本のきれいな直線になります。
これが「理想直線」です。
しかし、実際には「実際の測定結果」のように理想直線からズレた値が測定されます。
このズレ量を「フルスケールの何%か」で表したものが「リニアリティ」です。
「％」として表現されるので、距離の値（絶対値）にするには下記の計算が必要です。

<計算方法>
リニアリティ = ± パーセンテージ × フルスケール。

<計算例>
リニアリティ：±0.1%、フルスケール：±20mmの機種の場合、
リニアリティ = ± パーセンテージ × フルスケールなので：
= ±0.1% × ±20mm
= ±0.1% × 40mm
= ±0.04mm（= ±40μm）
となります。

サンプリング周期とは、センサが「1回の測定に必要とする時間」のことであり、サンプリング周波数とは、サンプリング周期を基に「1秒間に何回測定できるか」の回数（Hz）のことです。
反射率の低いワーク（例：黒ゴム）では受光量を増やすために、サンプリング周期を長くする必要がありますが、反射率の高いワーク（例：研磨した金属）では受光量過多となるため、サンプリング周期を短くする必要があります。
当社の変位センサには、常に最適なサンプリング周期で測定する「AUTO」機能が内蔵されているので、反射率が変化してもその誤差を最小限にすることを実現しています。

変位センサで複数回測定すると、ワークが静止状態であっても測定値にはバラツキが発生します。
このバラツキを小さくするのに使用するのがアベレージングです。
当社の変位センサでは「移動平均」を採用していて、計算個所を順にずらして算出しているので、測定値をサンプリング周期ごとに出力することが可能です。

周囲温度の変化に伴って変化する測定値の特性です。
±0.08％FS/℃や0.2mm/K（K：絶対温度単位ケルビン）というように表現されます。

±0.08％FS/℃で50±10mmの変位センサの場合、
20mm（±10mm）× 0.0008 ＝ 16μm
となり、１℃変化するごとに最大±16μm測定値が変化することになります。

電源電圧が投入された後にセンサが最高の精度または性能レベルに達するのに要する時間です（センサの内部温度が安定するまでの時間）。
機種によって異なりますが、代表値で5〜30分です。

ワークを移動しながら測定すると、距離が変化していないのに測定値に大きなバラツキが発生することがあります。
これはワークの表面にわずかでも凹凸がある場合、ワークが移動することにより受光素子上の結像位置がわずかながらに移動してしまい、バラツキとなってしまうからです。
このワークを移動させたときに発生する測定値のバラツキのことを「移動分解能」と呼びます。
ガラスや半導体ウェハのように、ワークの表面がツルツルの場合は測定値にバラツキは発生しませんが、それ以外のほとんどのワークでは測定値にバラツキが発生するので、動かしながら測定する場合は移動分解能を考慮する必要があります。
レーザのスポットが「ワイド」と「スポット」を選べる機種の場合、「ワイド」を選定すれば移動分解能の影響を小さくすることができます。
移動分解能はワークの表面状態により異なるため、カタログには表記されません。
実際にテストを行い、バラツキ量を把握してください。