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長距離ウェハ検出
長距離レーザBGSセンサTOF-Lで、ウェハがロボットハンドに載っているかどうかを検出します。
ウェハの通過高さが高くても低くても、反射型で0～4.5mと広範囲検出が可能なTOF-Lなら安定した有無検出が可能です。
使用製品長距離レーザBGSセンサTOF-L

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