搬送ステージでのガラス基板吸着管理

IO-LinkマスタURシリーズで、「ガラス基板」を吸着し搬送する際の圧力値を管理します。
他社IO-Linkマスタよりも小型、多チャンネルなURシリーズなら、省スペース＆低コストを実現できます。
またIO-Linkはデジタル通信のため、ノイズの心配もなく正確な数値管理が可能です。アナログ出力のような煩雑なスケーリングもなくご使用いただけます。