レーザ変位センサCD5-30と変位センサコントロールユニットUQ1により10msごとのデータ保存をし、ガラス基板の倣い制御を行います。
UQ1を使用しない通常のPLCとのシリアル通信では、CPUのスキャンタイムによりサンプリング間隔が不安定になってしまいますが、三菱電機製MELSEC-Qシリーズと接続可能なUQ1を使用すれば、そのストレージ機能により確実にデータサンプリングが可能。安定した倣い制御を実現します。