位置決め・アライメント / 半導体

ガラスウェハノッチ検出

ガラスウェハノッチ検出

限定反射型のファイバユニットを使用し、ノッチ部分でティーチングします。限定反射型なので、背景があってもウェハだけを検出可能です。

使用製品

ファイバユニット NFシリーズ 限定反射タイプ

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