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位置決め・アライメント / 半導体
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ガラスウェハノッチ検出
限定反射型のファイバユニットを使用し、ノッチ部分でティーチングします。限定反射型なので、背景があってもウェハだけを検出可能です。
使用製品
ファイバユニット
NFシリーズ 限定反射タイプ
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