位置決め・アライメント / 半導体

オリフラ検出

オリフラ検出

ミニチュアBGSセンサWT2Sでウェハのオリフラを検出します。
サイズは指先より小さくても距離で検出するBGS機能を装備しているので、ウェハのような鏡面体でもオリフラを安定して検出することが可能です。

使用製品

BGSセンサ(距離設定型) WT2Sシリーズ

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