長距離ウェハ検出

長距離レーザBGSセンサTOF-Lで、ウェハがロボットハンドに載っているかどうかを検出します。
ウェハの通過高さが高くても低くても、反射型で0～4.5mと広範囲検出が可能なTOF-Lなら安定した有無検出が可能です。