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カウント・通過検出 / 半導体
カウント・通過検出
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回転テーブル回転数管理
太陽電池基板の成膜工程で、テーブルの回転数を超高速ファイバセンサD4RFで検出します。
D4RFの応答時間は業界最高の16μs。テーブルを高速で回転させても安定した検出が可能です。
使用製品
デジタルファイバアンプ
D4RF/D4IFシリーズ
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