金属フレームの反り測定

真空槽内の半導体金属フレームの反りをレーザ変位センサCD5-W500で測定します。
D5-W500の測定範囲は500±200mmなので、反りを長距離から測定することが可能です。またコントロールユニットのUQ1-01を使用すれば、三菱電機製MELSEC-Qシリーズと直接接続することができ、複数台のセンサの演算設定も短時間で行うことが可能です。