チャンバ内のトレイ膨張測定

スパッタ用加熱チャンバ内のトレイの膨張度合いを、レーザ変位センサCD33-250□でガラス越しに測定します。
CD33-250□はローコストにもかかわらず、繰返精度75μmで最大400mmまで測定可能。トレイの変形を正確に測定可能です。