高さ・大きさ測定 / 半導体

ビューポート越しの浮き量測定

ビューポート越しの浮き量測定

ビューポート越しにウェハの傾き量を測定し、ロボットアームに正確にウェハが載っているかどうかをチェックします。またロボットアーム自体を測定すれば、アームの動作精度をチェックすることも可能です。

使用製品

高性能マルチレーザ変位センサ CD5シリーズ

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