ガラス基板のソリ測定

レーザ変位センサCDXシリーズでガラス基板のソリを測定します。
正反射型のCDX-L15なら、透明なガラス基板でも0.01μm単位でソリを測定可能。またサンプリング周期はMax.12.5μsと高速測定が可能ですので、従来機種比で8倍の高速サンプリングを実現しています。