基板のポジショニング

エッジ測定センサのAS30で基板のポジショニングを行います。
測定エリア30mmタイプなら繰返精度0.03ｍｍでのポジショニングが可能。ティーチング等の設定は一切不要なので、センサを取り付けるだけで高精度ポジショニングを行うことが可能です。