スパッタリングターゲットの厚み測定

スパッタリングターゲットの厚みをレーザ変位センサCD5-30で測定します。
オプテックス・エフエー独自の新開発テクノロジー"Tri-CORE"により真の測定安定性を実現。正反射モードで繰返精度0.1μmと高精度測定を可能にしたので、スパッタリングターゲットのムラを抑制。成膜時の精度向上に貢献します。