基板のプリヒート温度管理

非接触エリア温度計Xi80シリーズで基板のプリヒート温度を管理します。
広いエリアを測定できるXi80なら、基板全体が適切な温度に加熱されているかどうかを測定可能。非接触温度計では複数台設置しないと基板全体を測定できませんが、Xi80なら1台で対応することができます。