微小チップの外観検査

微小チップ部品の外観検査を行います。
光学素子にキューブビームスプリッタを採用したOPX-18は、従来のハーフミラータイプに見られるゴーストを抑えることができ、より高精細な画像を得ることが可能。微細なキズも検出可能です。