歯車の面取り検査

歯車の面取り精度を検査するためにカメラで面取りの幅を測定します。
テレセントリックレンズとスポット照明を使った同軸落射では、歯の先端のR部分が暗くなり、面取り部との差を取ることができません。
同軸照明OPXを用いて近距離で照射すると、R部分まで明るく撮像でき、面取り部だけを黒く撮像できます。
さらに高精細撮像に対応した極薄ハーフミラー（ t=0.2mm）タイプを使用すれば、μm単位での幅測定も可能にします。