ビューポート越しのガラス基板検出

真空チャンバー内のガラス基板有無を検出します。
反射シートをチャンバー内に設置すれば、レーザ透明体センサDR-Q150TNでビューポート越しに検出が可能。長距離レーザ変位センサを使用しなくても、ローコストで安定した検出を実現しました。