乾燥炉の基板到着確認

コーティング後の基板を吊り下げて乾燥させる工程で、その到着確認をBGS-Z10Nで検出します。
BGS-Z10Nは距離設定型なので基板の色の違いに強く、また基板に対して斜めに光を当てた状態でも安定した検出をすることが可能です。