ガラス基板切断時の温度管理

ガラス基板を切断する際、基板温度が規定以下であると切断が上手くできず歩留まりが低くなってしまいます。
GTL-G5シリーズを使用することで基板温度の常時測定を行い、規定温度以下になるとロボットアームが切断動作に入らないようにインターロックをかけ、ラインを止めることが可能。
ガラス切断時の歩留まり向上に貢献します。