マスクの折り目検査

マスクの背面からバックライト照明OPFを照射し、折り目が曲がっていないかを検査します。
拡散タイプのバックライト照明では、マスクを透過する際に光が散乱し、折り目部分がぼやけて映ってしまいます。これに対して狭指向角タイプは、指向性の高い照射により、折り目部分は透過せず黒くくっきりと撮像できます。周辺部とのコントラスト差を出せるため、高精度な検査が可能です。